新製品：マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICSシリーズ「M9650/M9651」を発表

2018 年 11 月 27 日
報道関係者 各位
会社名 レーザーテック株式会社
東証第１部コード６９２０
横浜市港北区新横浜２－１０－１

代表者名 代表取締役社長 岡林 理
発表担当 経営企画室 室長 浅井 浩志




新製品 マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICS シリーズ「M9650/M9651」を発表



【概 要】
この度レーザーテックは、設計ルール 5nm 世代以降の最先端半導体用マスクブランクス欠陥検査
装置で高感度・高スループット化に対応した MAGICS シリーズ M9650/M9651（以下、M9650/51）を製
品化しました。


【内 容】
当社のマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICS シリーズは、長年にわたり高い評価と信
頼をいただき、業界標準機としてマスクブランクスメーカーでの出荷検査およびマスクショップでの受
け入れ検査やプロセス管理で活用されております。近年、最先端の微細化プロセスに対応するため、
マスク技術においても EUV や新構造マスクの適用などの様々な技術革新が行われております。これ
に対応するため、マスクブランクス検査のさらなる高性能・高機能化が急務となっております。
こうした次世代のニーズに対応すべく、この度当社は EUV 用マスクブランクスをはじめ、光マスク用
ブランクス、サブストレートの欠陥検査に対して高い検出感度を実現した最新鋭機 M9650/51 を開発
しました。
M9650/51 は MAGICS の基幹技術をベースに、検査光学系の刷新とともに、当社マスクパターン検
査装置で培った高速検査回路技術を採用し、微小欠陥の欠陥検出感度を大幅に向上させていま
す。
本装置はすでに多くの引き合いをいただいており、複数台の納入が決定しております。レーザーテ
ックは、これからも次世代高品質マスクブランクスの出荷品質の向上およびマスクショップでのマスクブ
ランクス受け入れ検査やマスク製造プロセス管理の改善に向けて貢献してまいります。
【特 長】
 次世代高品質マスクブランクス欠陥検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検
査に適した高スループットを両立した最新鋭欠陥検査装置
 既にマスクブランクス検査の業界標準機となっている MAGICS の基幹技術をベースに、検査
光学系の刷新とともに、当社マスクパターン検査装置で培った高速検査回路技術を採用
 サブストレートのみならず、最先端半導体用マスクブランクス各層における欠陥検出感度を飛
躍的に向上させ、より高品質なブランクスの選別が可能
 カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向け RSP、MRP および
EUVL 向け Dual pod まで対応が可能
 M9651 は、ライン & スペースのモニターパターン検査に対応した製品で、マスクショップでの
各種プロセス管理に有効


【用 途】
 EUV マスクブランクス、光マスクブランクス、サブストレートの欠陥検査
 欠陥レビュー
 欠陥サイジング
 マスクブランクスとは、パターニングされる前のフォトマスク製造用の基板です。
 サブストレートとは、マスクブランクスを作る前のガラス基板です。




マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

M9650/M9651




◇お問い合わせ先◇
〒222-8552 横浜市港北区新横浜 2-10-1
レーザーテック株式会社 第 1 ソリューションセールス部 岩崎 豊
TEL：045-478-7337 FAX：045-478-7333
E-mail：yutaka.iwasaki@ｌasertec.co.jp