Photronics社より第10.5世代用FPDフォトマスク欠陥検査装置 CLIOS G1001Aなど検査装置を受注

2017 年 11 月 24 日
報道関係者 各位
会社名 レーザーテック株式会社

東証第１部コード6920

代表者名 代表取締役社長 岡林 理

発表担当 経営企画室 室長 浅井 浩志




Photronics社より第10.5世代用FPDフォトマスク欠陥検査装置 CLIOS G1001A、ペリクル検査/貼
り付けシステム 71PA CM/PP、およびFPDマスクブランクス欠陥検査装置LBIS L1052を受注


レーザーテック株式会社は、この度Photronics社より第10.5世代用のFPDフォトマスク欠陥検査装置 CLIOS
G1001A、ペリクル検査/貼り付けシステム 71PA CM/PP、およびFPDマスクブランクス欠陥検査装置 L1052を受
注しました。Photronics社は、半導体からスマートフォンやタブレット端末に代表される高精細ディスプレイおよび
4K・8K用の高解像度大型テレビ用までカバーするフォトマスク製造の世界的なリーディングカンパニーです。

近年、FPD業界では高精細有機ELディスプレイや大型液晶テレビへの対応が急務となっており、フォトマスク
の回路パターンの微細化と大型化が急速に進展しています。特に、中国においては大型FPD工場への投資が
相次いでおり、今回Photronics社で採用が決定した装置は、同社の中国マスク製造工場に納入される予定です。

納入予定の検査装置群は、レーザーテックが30年以上培った大型フォトマスク検査技術のノウハウをベース
に、半導体マスクの最先端欠陥検査技術も採用しています。さらに、SECS/GEMによる検査のオートメーション
対応や、ペリクル貼り付け作業をマスク検査直後のクリーン環境下においてリモート操作で実施する事も可能に
なっています。これら検査装置により、10.5世代用の大型フォトマスクであっても、高感度かつ高スループットな
欠陥検査を実現し、マスクへの異物付着リスクを最小化する事が可能です。

FPD業界における多数の導入実績と量産運用の経験により、設備の垂直立上げと高稼働率を維持する事で、
お客様の収益向上に貢献します。さらに10.5世代用マスクブランクス欠陥検査装置LBISは、マスクブランクスの
品質を高速で確認する事ができ、マスク生産の歩留まり向上に大きく寄与します。

レーザーテックは、今後も検査技術の開発により一層力をそそぎ、高品位フォトマスクの開発及び生産に貢
献してまいります。

以上


◇お問い合わせ先◇
〒222-8552 横浜市港北区新横浜 2-10-1
レーザーテック株式会社 第 3 ソリューションセールス部 樋口 剛史
TEL：045-478-7337 FAX：045-478-7333 E-mail： sales@lasertec.co.jp




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