SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置「SICA88シリーズ」販売開始から1年で10台の納入が決定

2016 年 11 月 7 日
各 位
レーザーテック株式会社
東証第一部・コード 6920
代表者名 代表取締役社長 岡林 理


SiC ウェハ欠陥検査/レビュー装置「SICA88 シリーズ」
販売開始から 1 年で 10 台の納入が決定

レーザーテック株式会社（東証第一部 証券コード番号 6920）は、2015 年 9 月に販売を開始した
「SiC ウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA88 シリーズ（量産機）」が販売から約 1 年で、10 台の納入が
決まりましたことをお知らせいたします。


次世代パワーデバイスは急速に高まる省エネルギーへのニーズを受け、需要の裾野が拡がってい
ます。なかでもＳiＣデバイスはパワーエレクトロニクス市場において重要な位置を占め、各自動車メー
カーは、小型化や電力損失を低減できるなどの利点から、SiC デバイスの採用に積極的に取り組んで
います。これにより、日本をはじめヨーロッパや世界各地の SiC 基板メーカーおよびデバイスメーカー
は今後の市場拡大を見込み、2020 年頃の本格量産に向けて開発を加速しています。


SiC デバイスの重要課題である低価格化や高効率化を進めていくうえで、当社の SICA88 シリーズ
は SiC ウェハの品質を飛躍的に向上させる装置として高い評価を受け、販売後わずか１年で 10 台の
導入が決まりました。本装置は、ウェハの表面検査と PL（フォト・ルミネッセンス）検査の機能を１台に搭
載し、表面と内部にある欠陥の両方を検出可能としました。また高解像度レビュー画像の取得と同時に
自動識別機能（ADC）で高精度分類が行えます。SICA88 シリーズは、SiC ウェハメーカーの品質管理
や製品のランク付け、デバイスメーカーの生産技術開発やウェハの受入れ検査などに貢献していま
す。


「SICA88 シリーズは、ローム株式会社や昭和電工株式会社をはじめとした日本の主要な SiC 関連メ
ーカーに導入されており、さらには業界をリードする複数の欧米トップメーカーへも納入済みです。今
なお多くの引き合いを受けており、2 台目、3 台目を導入されるお客さまも増えています。このように短
期間に装置導入が進んだことは、SICA がお客様にとっていかに有益であるかを証明しています。今後
は SiC デバイスの量産化が進み、市場は急速に拡大すると言われています。レーザーテックは
SICA88 を通して SiC デバイスの品質向上に貢献していきます。」（関 寛和 技術一部部長）



◇お問い合わせ先◇
〒222-8552 横浜市港北区新横浜 2-10-1
レーザーテック株式会社
第 1 ソリューションセールス部 マネージャー 神山 弦一郎
TEL：045-478-7337 FAX：045-478-7333 E-mail： sales@Lasertec.co.jp


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