新製品　FPDマスク向け位相差測定装置（MPM365gh）を発表

2016 年 3 月 30 日
各 位
レーザーテック株式会社
東証第一部・コード 6920
代表取締役社長 岡林 理




新製品 FPD マスク向け位相差測定装置（MPM365gh）を発表

この度レーザーテック株式会社は、FPD 生産用途に使用されるフォトマスクの位相差および透過率
を高精度で測定する事が出来る MPM365gh を発表しました。本製品は、2016 年 4/7（木）～8（金）に
パシフィコ横浜で開催される Photomask Japan 2016 Technical Exhibition に出展致します。


近年、FPD 業界では、スマートフォンの普及と進化に伴い、ディスプレイの高精細化へ急速にシフト
しております。特に画素密度は、表示の精細さを示すスペックである ppi（pixels per inch）が 1000ppi ま
で高くなると言われております。


FPD 製造において高精細化の重要な役割を担うフォトマスクでは、フォトマスク上の線幅を微細化す
るだけでなく、フォトマスク上にハーフトーン膜を用いることで位相を反転させ転写する微細化技術の
採用が徐々に増えつつあります。このような背景からハーフトーン膜の位相差や透過率は、微細なパタ
ーンを形成する際のフォトマスク製造プロセスにとって重要な品質管理項目となります。


レーザーテックでは、こうしたフォトマスクの位相差/透過率測定のニーズに対応すべく、半導体業界
の業界標準機である MPM シリーズの 2 光束干渉光学系技術を用いて、FPD の露光波長に使われて
いる i 線、g 線、h 線の位相差/透過率を測定可能にした MPM365gh を製品化しました。


MPM365gh は以上のような市場背景やお客様のご要望にお応えした測定装置となり、量産ラインで
の定期管理からプロセス開発の解析用途まで幅広くご利用いただけます。レーザーテックは、今後も
歩留りや生産性向上のためにコア技術を駆使し、FPD 業界に貢献してまいります。




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【用途】
 位相シフトマスクの位相差測定
 ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定




【仕様】
MPM365gh : 365nm(i 線) / 436(g 線) / 405(h 線)
測定波長 MPM365g : 365nm(i 線) / 436(g 線)
MPM365 : 365nm(i 線)
位相量測定(3σ) ≦ 0.5°
測定再現性
透過率測定(3σ) ≦ 0.2 %
マスクサイズ* 6 インチ
装置サイズ 幅 930mm x 奥行き 780mm x 高さ 1330mm
*標準は 6 インチサイズですがお客様のご要望に応じて、大型マスクサイズに対応可能です。




◇製品お問い合わせ先◇
〒222-8552 横浜市港北区新横浜 2-10-1
レーザーテック株式会社 第 3 ソリューションセールス部 山内 勝希
TEL：045-478-7337 FAX：045-478-7333 E-mail： sales@Lasertec.co.jp

以上




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