Cree Inc. SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置「SICA」追加導入のお知らせ

2015 年 11 月 5 日
各 位
レーザーテック株式会社
東証第一部・コード 6920
代表者名 代表取締役社長 岡林 理




Cree Inc. SiC ウェハ欠陥検査/レビュー装置「SICA」追加導入のお知らせ



レーザーテック株式会社（東証第一部 証券コード番号 6920）は、この度、Cree Inc.（NASDAQ：
CREE）が当社の SiC ウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA の追加導入を決定したことをお知らせいた
します。Cree Inc.は、SiC 基板、SiC パワーデバイス、GaN（窒化ガリウム）LED 分野における業界のリ
ーディングカンパニーです。


SICA は SiC ファブの生産性を飛躍的に向上させるべく開発された装置です。本装置は、高感度で
欠陥検査を行うだけでなく、検査と並行して動作し、高解像度画像を用いて高精度にキラー欠陥を分
類する ADC(Automatic Defect Classification)機能、さらには全自動の欠陥レビュー機能を有していま
す。SICA の導入により、SiC 基板及びデバイスメーカーはより迅速な問題解決が図れるようになり、生
産性や歩留りを飛躍的に向上させることができます。SICA のユーザーインターフェースは直感的な操
作を可能とする GUI を採用しており、検査レシピ作成や自動レポート作成の操作性が向上していま
す。オプション提供の SICA ビューアーは、クリーンルーム外で作業するエンジニアに優れた利便性を
提供します。


「SICA は高感度性能や、革新的な機能であるオン・ザ・フライ ADC、及び自動欠陥レビュー機能によ
り、迅速な欠陥分析を可能にし、お客様の収益に直結するデバイスの歩留まり改善に寄与します。
2011 年の SICA6X 発表以来、当装置は既にアジアの主要 SiC パワーデバイスメーカーやコンソーシ
アムに納入されており、現在さらに多くの国々でも導入の動きが急速に拡がっています。今回の Cree
Inc.での成功は SICA がお客様にとっていかに有益であるかを端的に物語っています。」（関 寛和 技
術一部部長）



◇製品お問い合わせ先◇
〒222-8552 横浜市港北区新横浜 2-10-1
レーザーテック株式会社
第 1 ソリューションセールス部 マネージャー 神山 弦一郎
TEL：045-478-7337 FAX：045-478-7333 E-mail： sales@Lasertec.co.jp


以上




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