高精度ツインヘッドダイボンダSPA-1000受注開始

ニュースリリース
2015 年 5 月 15 日


高精度ツインヘッドダイボンダ SPA-1000 受注開始

株式会社新川（社長：長野高志、東京都武蔵村山市伊奈平二丁目 51 番地の 1）は、高精度ツイ
ンヘッドダイボンダの最新鋭機種「SPA-1000」の開発を完了し、受注を開始しました。
パッケージの小型化に伴い、高精度・高生産性ボンディングに対する要求が高まっています。
同機種では、新川独自の技術 3D-NRS（3 次元構造無反動サーボシステム）の採用により、ツイ
ンヘッド化を可能にしました。これにより高精度・高生産性を実現するとともに、生産現場の
省スペース化にも寄与します。また、生産の品質向上を図るべく、各ボンディングヘッドにダ
イ裏面カメラを搭載するなど、合計 8 つの高解像度カメラによって精密な検査を可能にした装
置となっています。
【SPA-1000 の特長】
(1) 精度 XY±5μm（3σ）、θ±0.05°（3σ）
（部材起因を除くマシン精度）

(2) ツインヘッド採用により高生産性と省スペース
化を実現
(3) 薄ダイ専用ピックアップユニット搭載により
t20μm/400ms の安定した高速ピックアップが可
能（オプション）
(4) 摩擦ゼロ、位置・荷重同時制御のボンディング
ヘッド搭載、薄ダイスタック製品に対応
(5) クリーン対応として、HEPA フィルタ、全面ステ
ンレス製カバーを装備
(6) 8 つの高解像度カメラによる強力な検査機能を
装備
(7) 幅 120mm、長さ 300mm までの大型基板に対応

【ダイボンダ SPA-1000】



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ワイヤボンダ、フリップチップボンダ
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以上




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