集束イオンビームフォトマスク修正装置「Draco」を受注

2022年３月2３日


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集束イオンビームフォトマスク修正装置「Draco」を受注


株式会社ブイ・テクノロジー(神奈川県横浜市神戸町 134 横浜ビジネスパーク 9F、代表取締役 兼 社長執行

役員:杉本 重人)は、昨年の 12 月 21 日に、お客様のフォトマスク製造プロセスの更なる発展に貢献する新し

い欠陥修正装置 Draco を発表いたしましたが、多くのお客様にテストいただいた結果、欠陥修正性能、省スペ

ース性、使い易さ等について非常に高い評価を頂くことができ、初号機の受注を獲得いたしました。




本装置は、高精細かつ高い位置精度で欠陥の修正やパターンの描画が可能な構成であり、加えて、局所真空

技術による省スペース・低ランニングコスト等の点でも優れています。また、すでに製品化しております検査

装置「Capricorn」や精密座標測定装置「MercurySHR」等と組み合わせることで、フォトマスクの主要な検査

工程にてお客様をトータルでサポートできる製品ラインナップとなりました。




今後は、Draco の強みを軸に、他の製品と併せた、きめ細かな提案を国内外のお客様に幅広くお届けし、更

なる受注の獲得を目指します。引続き、大いなる志と溢れる情熱で、世界最高のイノベーションを創造し、社

会に貢献する所存です。引続き皆様からのご支援を賜りますようお願い申し上げます。




外観イメージ
＜お問合せ先＞
株式会社ブイ・テクノロジー 管理本部 社長室
〒240-0005 横浜市保土ヶ谷区神戸町１３４ 横浜ビジネスパークイーストタワー９F
TEL：045-338-1980
Web：https://www.vtec.co.jp/ja/contact.html