新製品発売のお知らせ

平成 30 年３月 28 日
各 位
会 社 名 西川計測株式会社
代表者名 代表取締役社長 田中 勝彦
（コード番号：7500 JASDAQ）
問合せ先 経営企画部長 後藤 靖文
電 話 03-3299-1331（代表）


新製品発売のお知らせ

この度当社は、市販のイオンクロマトグラフ (IC) と組み合わせることで、半導体製造用クリーンルーム
中の分子状汚染物質 (AMC) をオンラインで監視することを可能にする装置「NS-171 ガス捕集ユニット」
を開発し、新商品として発売することといたしましたのでお知らせいたします。


記


１．新製品名
半導体製造用クリーンルームガスモニター「NS-171 ガス捕集ユニット」


２．新製品の内容
本製品は、クリーンルーム内に設置された最大 16 箇所のサンプリングポイントから順次切替し、空気
を吸入・捕集します。捕集された空気に含まれる AMC は、インピンジャー内で純水に溶解され、イオ
ンとなります。このイオンを濃縮カラムにより濃縮し、IC に導出し測定を行います。IC を用いてオンラ
イン監視できることが、大きな特長となります。各ポイントでマニュアル捕集したものを IC まで運び測
定を行う手法よりも自動化されることにより業務の効率性が向上します。また、濃縮カラムを用いた IC
は、分光光度法等と比較し、より高感度な測定が期待できます。


３．発売日
平成 30 年 4 月 1 日


４．新製品の売上高への影響
平成 30 年 6 月期の業績に与える影響は軽微であり、業績予測に変更はありません。


（参考）
◆イオンクロマトグラフ：Ion Chromatograph：IC
イオン種成分を測定する液体クロマトグラフ装置一種
水質管理や大気環境測定、食品分野などに広く用いられている。
◆分子状汚染物質：Airborne Molecular Contaminant：AMC
クリーンルーム建屋、製造装置構成材料や外気、人、薬品などに由来し、歩留まり悪化要因となる物
質で、酸性物質、塩基性物質、ドーパント類、金属、高揮発性有機化合物に大別される。
半導体の微細化・高集積化に伴い、より低濃度での管理が必要となっている。
以 上