新製品：ハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID+」を発表

2020 年 1 月 10 日
報道関係者 各位
会社名 レーザーテック株式会社
東証第１部コード６９２０
横浜市港北区新横浜２－１０－１

代表者名 代表取締役社長 岡林 理
発表担当 経営企画室 室長 三澤 祐太朗



新製品： ハイブリッドレーザーマイクロスコープ
「OPTELICS HYBRID+」を発表
【概要】
この度レーザーテックは、レーザーコンフォーカルと白色コンフォーカルの 2 つの光学系を融
合し 、高機能と多 機能性を 追求したハ イ ブリッ ド レー ザー マイ クロス コ ー プ OPTELICS
HYBRID シリーズの最新モデルとして OPTELICS HYBRID+を製品化致しました。
同装置は 2020
年１月に東京ビックサイトで開催されるエレクトロテスト展に出展致します。
同装置は、光源の長寿命 LED 化を始めとする、分解能 0.05nm の Z スケールの採用を含む 8 項目
のハードウェア部の改良と、使いやすさを追求した「計測アシスト機能」
、検査機能を最大限に活
かす「AI 検査」等の 10 項目におよぶ新規のソフトウェアを搭載することで、新しく生まれ変わ
りました。


【背景】
現在、各産業分野において高機能化および微細化と同時にエネルギー資源の有効活用の取り組
みが世界規模で加速しています。これに伴い、半導体デバイス、金属、樹脂、新素材等、各種材
料の技術開発は各分野で一層強化され、顕微観察の分野では、正確かつ迅速なデータ取得と解析
が重要な項目となっています。その為、装置のさらなる高性能化、汎用性の向上が求められてお
ります。
近年、各業界の研究開発・品質保証部門をメインに使用されていた従来装置も量産プロセスに
近い分野に活躍の場を広げつつあり、自動搬送及び自動測定・自動検査に対応する需要が増加し
ています。


【特長】
OPTELICS HYBRID+は、このような課題に応えるべく高機能と多機能性を両立させて誕生し
たOPTELICS HYBRIDシリーズに、長寿命LED光源と高分解能Zスケールを採用。さらに、使
いやすさを追求する３つの機能を持つ「計測アシスト機能」を新たに開発いたしました。第一の
機能として、従来は測定者の経験やスキルに依存していた測定方法やパラメータの設定において
最適な測定手法をアドバイスする「LMカルテ」
、第二の機能がノイズ処理等をはじめとする前処
理プロセスのパラメータを装置がアシストする「フィルターアシスト機能」
、そして第三の機能
が測定情報からOK品とNG品を識別する為の管理項目をアドバイスする「LMアドバイザー」で
す。従来、測定者の経験とスキルに依存していた設定を装置が最適化することで、作業効率が大
幅に向上します。
また、自動検査ソフトに機械学習やディープラーニングを組み込んだ「AI検査」を新規に開発
いたしました。ノンパターンの基板欠陥検査から、パターン付きデバイス等の欠陥検査へ拡張で
きるだけでなく、取得した欠陥を分類する事が出来、検査フィールドでの活躍の場が飛躍的に拡
大します。その他、ウェハ自動搬送をはじめ、測定精度を向上させる新開発の高ＮＡ対物レン
ズ、Xθステージ等のハードウェアオプションと、豊富なソフトウェアオプションにより、多様
なニーズをきめ細かく対応することが可能です。


【用途】
各種材料の観察および形状測定
半導体材料＆デバイス、透明膜、MEMS、コーティング材料、高機能フィルム、無機・有機材
料、金属部品、プラスチック加工部品など


【構成】
顕微鏡本体、制御部、光源ユニット、PC＆液晶モニター




OPTELICS HYBRID⁺ 外観

【標準販売価格】
本体価格 1,500 万円～（価格はモデル・仕様により異なります）



◇お問い合わせ先◇
〒222-8552 横浜市港北区新横浜 2-10-1
レーザーテック株式会社 共焦点システムソリューション部
TEL：045-478-7330 FAX：045-478-7333 E-mail： sales@ｌasertec.co.jp