ドライ真空ポンプLSシリーズを開発－高速排気と低消費電力を両立－

リリース日：2017年8月31日


ドライ真空ポンプLSシリーズを開発
−高速排気と低消費電力を両立−

株式会社アルバック



株式会社アルバック（本社 神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役執行役員社長 岩下節生、以下
アルバック）はこのほど、ドライ真空ポンプ「LSシリーズ」を開発しました。2018年1月よ
り発売開始しますので発表いたします。


〔背 景〕
ドライ真空ポンプは、主に電子部品やデイスプレイ等の様々な製造ラインで使われていま
す。環境への配慮から消費電力が低いドライ真空ポンプが主流となっています。しかし、一
般的な低消費電力型ドライ真空ポンプは、大気圧付近の排気速度が小さく、排気時間が長く
なるという課題がありました。


〔概 要〕
アルバックは、この課題を解決する為に高速排気と低消費電力を両立させたドライ真空ポ
ンプ「LSシリーズ」を開発しました。大気圧付近の排気速度を大きくする事で、高速排気（排
気時間の短縮）を実現しつつ、これまでに培った独自技術により消費電力を低減しています。
2018年1月より、最大排気速度120∼1200m3/hの4機種の高速排気・低消費電力ドライ真空ポ
ンプ「LSシリーズ」をラインアップします。装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気
容量のポンプを選択できます。


〔特 長〕
■高速排気
新たに開発した独自構造（特許申請中）により、大気圧付近の排気速度が大きくでき排気
時間の短縮を可能にしました。
一般的な低消費電力型ドライ真空ポンプに比べて約20%の排気時間短縮を可能にしました。
■低消費電力
高速排気を実現しつつ、到達圧力時の消費電力は業界トップクラスの0.6kW以下を達成し
ました。
■低騒音
専用サイレンサーを内蔵し、60dB(A)以下を実現しています。
〔製品写真〕




型式：LS1200
型式：LS600
型式：LS300
型式：LS120




〔販売価格および目標〕
ドライ真空ポンプ「LSシリーズ」の販売価格は、150万円∼を予定しています。販売台数
は初年度に200台、2019年度に1500台を見込んでいます。


なお、今回発表したドライ真空ポンプ「LSシリーズ」は、2017年9月6日（水）∼9月8日（金）
にパシフィコ横浜（展示ホールＤ）で開催される「VACUUM2017 真空展」のアルバックブー
ス(ブースNo.V-114)で実機展示を行います。


以 上




本件に関するお問合せ先 株式会社アルバック
規格品事業部PM1部
主事
山本昌弘
TEL：0467-89-2185
関連ウェブサイト https://www.ulvac.co.jp/