高速RF制御システムのリリースに関するお知らせ

2024 年 4 月 12 日
各 位

会 社 名 株式会社アドテック プラズマ テクノロジー
代表者名 代表取締役社長 森下 秀法
（コード番号 6668 東証スタンダード）
取締役
問合せ先 坂谷 和宏
総務・経理部長
（ＴＥＬ．084－945－1359）


高速 RF 制御システムのリリースに関するお知らせ

当社は、今後更に多様化する半導体製造プロセスを見据え、新しい高速 RF 制御システムである「マ
ークファイブ」をリリースいたしましたので、お知らせいたします。

記

１．「マークファイブ」の概要
これまで一部アナログ制御があった従来機に対し、高速 RF 制御システム「マークファイブ」は、
『高速フルデジタル制御』で開発しました。
「マークファイブ」は、高周波電源・インピーダンス整合装置・周辺計測機器のすべてに共通
利用可能な基幹制御システムであります。
これにより、製造工程における自動検査等との親和性が向上することから、高周波電源・イン
ピーダンス整合装置等の製品性能の安定化が図れ、より信頼性の高い製品づくりが可能となりま
す。
また、製品出荷後においても柔軟な機能拡張が可能であり、ユーザーの要望にも迅速に対応す
ることが可能となります。
なお、「マークファイブ」の特徴は、以下のとおりであります。

（１）業界最速レベルの電力制御頻度を実現
従来機に比べ、電力制御が 1000 倍以上高速化されたことから、これまでにない安定したプ
ラズマ放電が可能となりました。
また、専用 PC ソフトウェアから生成するユーザーオリジナルパターン波形も高精細に制御
可能となります。

（２）主要機能を同時搭載したオールインワンモデル製品を実現
現在、高周波電力供給システムで要求される主要機能は、「連続出力」「パルス出力」「ア
、 、
ークハンドリング」「周波数チューニング」であります。
、
従来のアナログ制御では、これらの各機能の能力が十分に発揮されず、同時搭載の障害と
なっておりましたが、フルデジタル化により主要機能をすべて搭載したオールインワンモデ
ル製品を実現しました。

２．高速 RF 制御システム「マークファイブ」の今後の事業展開
現在、 「マークファイブ」が搭載された新型機を順次、半導体製造装置メーカーに納品し、評価
試験を進めております。
今後も半導体製造プロセスの多様化を見据え、高周波電力供給システムへの要求に先回りした
製品開発を進めてまいります。
３．業績に与える影響
本件が、当期の業績に与える影響は軽微であります。

以 上



【高速フルデジタル制御で得られる特殊な電力供給波形】
ユーザーオリジナルパターン波形のイメージ