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(株)アドテック プラズマ テクノロジー　プレスリリース

半導体・液晶製造関連のプラズマ用高周波電源装置大手。栃木子会社は研究機関・大学関連が主

プレスリリース情報

  • 高速RF制御システムのリリースに関するお知らせ

    １．「マークファイブ」の概要 これまで一部アナログ制御があった従来機に対し、高速 RF 制御システム「マークファイブ」は、 『高速フルデジタル制御』で開発しました。 「マークファイブ」は、高周波電源・インピーダンス整合装置・周辺計測機器のすべてに共通 利用可能な基...

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