伯東がルネサスからパワー半導体300mm ウェーハ用高温ファーネスを受注

News Release




2023 年 9 月 19 日
各 位

伯東株式会社


伯東がルネサスからパワー半導体 300mm ウェーハ用

高温ファーネスを受注

伯東株式会社（本社：東京都新宿区、代表取締役社長執行役員：阿部良二、証券コード 7433）
は、販売代理店として取り扱っておりますドイツ・セントロサーム社製次世代横型ファーネス
c.HORICOO 300 クラスターが、ルネサスエレクトロニクス株式会社（以下、
「ルネサス」 甲府工
）
場のパワー半導体 300 mm 製造ラインでの採用が決定された事を発表いたします。
ルネサスは、自動車用半導体の世界最大のメーカーの 1 つであり、自動車の電動化が進む中、
パワー半導体の事業拡大を推進する為、閉鎖していた甲府工場を 300mm 専用のパワー半導体製造
ラインとして 2024 年に稼働を再開し、次世代 IGBT を生産いたします。


8 つのプロセスチューブを搭載する c.HORICOO 300 クラスター は、300 mm シリコンウェー
ハを高温で酸化およびアニール処理を行う大型量産装置です。高温熱処理中にウェーハ内部に発生
するスリップ（結晶ひずみ）を独自の横型炉設計によって低減することに成功し、チップの歩留り
を大幅に改善することができます。FOUP 搬送に対応した完全自動化システムにより、従来の縦型
炉ソリューションと比較してコスト・オブ・オーナーシップを最大 50% 削減可能です。


c.HORICOO 300 クラスターは、2018 年の市場投入およびフィールド評価を経て、すでに欧州
Tier1 チップメーカーの 300mm ラインに導入され生産稼働されておりますが、国内メーカーでの採
用は初めてとなります。今回ルネサスが採用したことで、日本の 300mm パワー半導体製造への波
及効果が期待されます。
「セントロサーム社は、半導体熱処理装置の主要サプライヤーの一つであ
り、彼らの c.HORICOO 300 クラスター は、当社の 300 mm ウェーハ向けパワー半導体の生産拡
大に欠かせないツールだ。
」とルネサス 生産本部 パワー製品立上げ準備室 シニアダイレクターの
堀田 孝次朗氏は述べられています。




c.HORICOO 300 クラスター外観図
伯東株式会社について（https://www.hakuto.co.jp）

伯東は 1953 年の創業以来、最新の情報や最先端の技術をいち早くお客様へお届けする技術商社とし
て、生産の効率化を図る工業薬品を生みだすメーカーとして、皆様のご愛顧とご支援により順調な発展
を遂げてまいりました。
私たちが企業活動を通じて目指している未来は「人と技術と自然環境の共存」です。
先進のテクノロジーが人々の暮らし、そして地球に活力と潤いをもたらすことを信じ、より豊かな社
会の実現のために邁進していきます。


【本件に関するお問合せ先】
伯東株式会社
システムプロダクツカンパニー 営業一部
TEL：03-3355-7645
E-Mail：F1@hakuto.co.jp