水銀フリーの新型オゾンモニタの開発に関するお知らせ

2024 年１月 17 日
各位
会 社 名 荏原実業株式会社
代表者名 代表取締役社長執行役員兼COO 吉田 俊範
（コード番号：6328 東証プライム市場）
問合せ先 取締役常務執行役員総合企画室長 大野 周司
（TEL 03-5565-2885）



水銀フリーの新型オゾンモニタの開発に関するお知らせ


当社は、環境に配慮した水銀フリーのオゾンモニタを開発しました。受注開始は2024年4月を予定し
ています。


１．製品名称
EG-3100シリーズ（上下水道施設向け高精度オゾンモニタ）
EG-690（半導体製造プロセス向けインライン型オゾンモニタ）


２．概要
当社のオゾンモニタは、気体中や水中のオゾン濃度を紫外線吸収法により精密測定する計測器であ
り、これまで紫外線の光源として水銀ランプを使用してきました。
今回開発した新型オゾンモニタは、環境に対する社会的な関心の高まりを受けて、UV－LEDを光源
に採用し水銀フリーを実現しています。また、発光特性を補正する技術により、UV－LED光源では難
しいとされていた高精度な測定を可能にしています。


３．受注開始時期
2024年4月（予定）




以上
（ご参考）
2024 年 1 月 17 日
荏原実業株式会社


新製品：水銀フリーの新型オゾンモニタを開発

荏原実業株式会社（東京都中央区/代表取締役社長執行役員兼 COO：吉田 俊範）は、環
境に配慮した水銀フリーのオゾンモニタを開発しました。受注開始は、2024 年 4 月を予定
しています。


当社はオゾン測定技術のパイオニアとして、オゾンの適正利用に欠かせないオゾンモニ
タや、様々な条件に合わせて正確な測定ができるよう前処理システムとオゾンモニタを組
み合わせたオゾン濃度測定装置の開発・設計・製造・メンテナンスを手掛けています。利用
されている分野は多岐に渡りますが、特に上下水道施設の高度処理プロセスや半導体工場
の製造プロセスで長年採用いただいており、国内トップシェアを有しています。


今回開発した新製品は、環境に対する社会的な関心の高まりを受けて、UV－LED を光源
に採用し、水銀フリーを実現しています。また、発光特性を補正する技術により、UV－LED
光源では難しいとされていた高精度な測定を可能にしており、従来の水銀ランプを使った
オゾンモニタと同等の精度を有しています。


 高精度オゾンモニタ：EG-3100 シリーズ
・UV－LED 光源を採用し水銀フリー化を実現
・当社独自の発光補正技術により低圧水銀ランプ製品と同等精度を実現
・浄水プロセスのオゾン処理における全てのガス測定ポイントを網羅するラインアップ
・高精度で高分解能なので、研究・開発用途にも適用可能




 インライン型オゾンモニタ：EG-690
・UV－LED 光源を採用し水銀フリー化を実現
・当社独自の発光補正技術により低圧水銀ランプ製品と同等精度を実現
・半導体製造プロセスのオゾンガス配管にインラインで設置可能
・装置組込に適したスモールフットプリント
荏原実業株式会社の概要




本社：東京都中央区銀座七丁目 14 番 1 号
代表者：吉田 俊範
TEL：03-5565-2881
URL：https://www.ejk.co.jp
事業内容：環境関連機器の製造販売および上下水道施設等のエンジニアリングサービス




本件についての問い合わせ先
 本リリースに関するお問い合わせ先
総合企画室
TEL：03-5565-2885
FAX：03-5565-2913
E-mail：kikaku@ejk.co.jp


 製品に関するお問い合わせ先
計測器・医療本部 計測器営業部
TEL：044-981-0560
FAX：044-981-0561
E-mail：ej-ozone@ejk.co.jp