Inpria Corporationへの出資に関するお知らせ

LOOKING AHEAD WITH NEW TECHNOLOGIES
平成28年3月2日
各 位
会 社 名 東京応化工業株式会社
代 表 者 名 取締役社長 阿久津郁夫
コード番号 4186（東証第一部）


Inpria Corporationへの出資に関するお知らせ

東京応化工業株式会社（本社：川崎市中原区／社長：阿久津郁夫）は、EUVレジストの実用化に向けた
取り組みの1つとして、Inpria Corporation（以下「Inpria社」）への出資を行いましたので、お知らせ
いたします。当社の出資金額は、150万米ドル（約1.8億円）です。

Inpria社は、会社設立以来、金属含有EUVレジストの開発に積極的に取り組んでおり、現在はSn
（スズ）
酸化物を主成分とするレジストを開発し、公表値における限界解像性では干渉EUV露光系で世界最高性能
の限界解像結果を有しています。また、非化学増幅系レジストにおける最大の課題である感度において
も、顧客要望に近い水準を実現するとともに、既存有機ポリマー系化学増幅レジストの課題とされるド
ライエッチング耐性では、同レジストと比較し、40倍以上の性能を確認するなど、多数の優れた性能を
有しています。
当社では、本出資を通じてInpria社の研究開発を支援するとともに、Inpria社レジストのスケールア
ップや周辺材料の提供を検討するなど、EUVレジストの実用化に向けた取り組みを推進してまいります。
当社は、今後も有望なベンチャー企業との協業・支援を積極的に推し進め、新規事業展開を加速して
まいります。

「Inpria社の概要」
会社名：Inpria Corporation
所在地：米国オレゴン州コーバリス
代表者：Andrew Grenville
事業内容：金属含有EUVレジストの開発
設立：2007年
URL http://www.inpria.com/

（参考）金属含有EUVレジストパターン（Inpria社提供）




13nm L/S, 26mJ/cm2 (NXE:3300)

◆ 本件に関するお問い合わせ先
開発本部 次世代材料開発部 （報道担当）広報部
TEL：0467-75-2151 FAX：0467-75-3281 TEL：044-435-3000 FAX：044-435-3020
E-Mail : ir@tok.co.jp
以 上