新製品「全自動光学検査装置」販売開始のお知らせ

2021 年 6 月 7 日
各 位
会 社 名 株式会社 南 陽
代表者名 代表取締役社長 武内英一郎
（コード番号：7417 東証第一部・福証）
問合せ先 常務取締役管理本部長兼
経営企画室長 篠崎 学
ＴＥＬ 092－472－7331


新製品「全自動光学検査装置」販売開始のお知らせ


当社は、株式会社清和光学製作所（本社：東京都中野区）との間で共同開発した、 「全自
動光学検査装置」3 機種（SRV-300、SRV-300ZPM、SIR-300）を 2021 年 6 月より販売開始い
たしましたので、下記のとおりお知らせいたします。


記




１．概要

「全自動光学検査装置」3 機種（SRV-300、SRV-
300ZPM、SIR-300）は、近年、半導体デバイスの
高機能化、微細化に伴い、検査ニーズが多種多
様となってきた半導体デバイス市場における省
力化および省人化に貢献する目的で開発された
装置であります。
「SRV-300」は半導体ウェハーの欠陥レビューを
行い、 「SRV-300ZPM」はレビュー機能に加えて、
白色干渉による 3 次元計測の組み合わせを可能
としております。 さらに、「SIR-300」では赤外光
によるウェハー内部および貼り合わせウェハー
（イメージ図）
の表裏パターンズレ検査を可能としております。
「全自動光学検査装置」を導入することにより、従来の目視検査等の検査工程を自動化
することができ、SEM Review 装置に比べ、安価かつ高速であり、他検査モジュールと
の組み合わせや、 複数装置にまたがる検査工数の削減、 全数検査による半導体ウェハー
の品質安定化を実現いたします。
なお、受注につきましても 2021 年 6 月より開始しており、3 年後の年間売上高は 10 億
円を目標としております。

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 ＜価格＞

① 型式 SRV-300 〔 Auto Review 検査装置（Standard 仕様） 〕
標準価格 １億 3,000 万円（税別）/台

② 型式 SRV-300ZPM 〔 Auto Review 検査装置+白色干渉 Zpro（+3D 計測仕様） 〕
標準価格 １億 5,000 万円（税別）/台

③ 型式 SIR-300 〔 Wafer 内部欠陥 IR 検査装置 〕
標準価格 １億 3,000 万円（税別）/台

２．今後の事業に与える影響

本件が今期の当社業績に与える影響は軽微であります。
当社は省力化、省人化への貢献を目的として、引き続き検査装置関連の開発に取り組
んでまいります。



本件に関する詳細なお問い合わせは、下記にお願いいたします。
株式会社南陽 産機事業本部 管理部
TEL：092-473-7711
HP お問い合わせ：https://www.nanyo.co.jp/jp/contact.html#sanki
E メールアドレス：infoinfo@nanyo.co.jp
以 上

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