当社子会社による真空環境対応の液晶基板搬送ロボットの開発について

2023 年 12 月 11 日
各 位


会 社 名 ニデック株式会社
代表者名 代表取締役社長執行役員 小部 博志
取 引 所 東証プライム（6594）
所 在 地 京都市南区久世殿城町 338
問合せ先 広報宣伝部長 渡邉 啓太
電 話 (075）935-6150




当社子会社による真空環境対応の液晶基板搬送ロボットの開発について


ニデック株式会社のグループ会社である ニデックインスツルメンツ株式会社が、真空環境でも大気中と同等の関節自由度
を持つ、液晶基板搬送ロボットを開発しましたのでお知らせいたします。

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 2023 年 12 月 11 日
各 位


会 社 名 ニデックインスツルメンツ株式会社
代表者名 代表取締役社長執行役員 大塚 俊之
所 在 地 長野県諏訪郡下諏訪町 5329



ニデックインスツルメンツの真空環境対応の液晶基板搬送ロボットの開発について

ニデック株式会社のグループ会社である ニデックインスツルメンツ株式会社（以下、当社）は、真空環境でも大気中と同
等の関節自由度を持つ、液晶基板搬送ロボットを開発しました。




「SR8670」 「SR8665」


液晶パネルや有機 EL などのディスプレイの製造工程では、生産コストの削減と画面サイズの大型化を同時に実現する
ため、マザーガラス基板の大型化と処理スピードの高速化が常に求められています。搬送できるガラスのサイズは大きけれ
ば大きいほど生産効率が上がるため、近年では、3m×3m の大型サイズへの対応が求められています。マザーガラス基板
の薄膜処理や蒸着などの工程は極めて高いレベルのクリーン環境である真空環境が求められ、搬送ロボットにも真空に耐
える性能が求められます。
当社は有機 EL 基板の蒸着工程及び液晶パネルの搬送ロボットにおいて世界シェア No.1 であり、本製品にもこのノ
ウハウが活かされています。真空内で動くロボットは、アームなどの内部から空気やダストなどが排出されないように、各関節
部をシーリングしています。これは関節可動の自由度低下の原因となりますが、当社製品は減速機と一体化した磁気シ
ールを採用することで使用数を最小限に抑え、大気中と同等の自由度を確保しています。お客様のニーズに応え、アー
ム形状の異なるブーメランタイプとスカラタイプの２種類をラインアップしておりますが、双方でユニットを共通化することによ
り、コストも抑えています。
当社は今後も世界 No.1 の総合モーターメーカーの一員として、快適な社会づくりに貢献する革新的なソリューションを提案
していきます。


製品に関するお問合せ先：ニデックインスツルメンツ株式会社 営業本部営業第 4 部営業第 1 グループ
03-5740-3005（直通）

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