セミコンジャパン2015にてミニマルファブ用の三灯式ガラス反射鏡を展示

平成 27 年 12 月 25 日
各 位

会 社 名 岡本硝子株式会社
代表者名 代表取締役社長 岡本 毅
（ＪＡＳＤＡＱ・コード 7746）
問合せ先 財務部長 風間 卓
電 話 04-7137-3111


セミコンジャパン 2015 にてミニマルファブ用の三灯式ガラス反射鏡を展示


当社は、セミコンジャパン 2015(会期:2015 年 12 月 16 日～18 日、会場:東京ビッグサイト)に産業技術総
合研究所コンソーシアム・ファブシステム研究会(以下「ファブシステム研究会」)の一員として出展いたし
ました。多くの方に来場いただきましたこと、心より御礼申しあげます。
ファブシステム研究会の参加組織、ミニマルファブ技術研究組合及び産業技術総合研究所は、ミニマルフ
ァブ(ハーフインチウェハを製造単位とする局所クリーン化超小型半導体製造システム)の研究開発を進め
ております。半導体の超小型製造装置は半導体の多品種少量生産のニーズに適した製造システムであり、ま
た、総合科学技術会議により、国家で進めるべき重要技術開発施策の一つとして位置づけられております。
今般、展示いたしました当社製の三灯式ガラス反射鏡は、ミニマルファブにおいて、ウェハ加工を行う
CVD 用集光加熱炉の部品であり、ランプから出る熱線を集光してウェハを加熱する目的で使用されます。
当社製の三灯式ガラス反射鏡は、プレス成型の結晶化ガラスの反射面に金を製膜することで、従来の金属
削り出しの反射鏡に比べて、より高性能な集光加熱炉を、より低コストで製造することが可能となります。
当社は、ファブシステム研究会の参加企業であるとともにミニマルファブ技術研究組合の組合員であり、
今後も関係各社、諸機関と協力して、ミニマルファブ実現のため、結晶化ガラス反射鏡の開発を推進いたし
ます。
以上




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セミコンジャパン 2015 におけるミニマルファブの展示
会期:2015 年 12 月 16 日～18 日 会場:東京ビッグサイト(東京国際展示場)
出展ブース:東展示棟ホール 3 小間 No.2844
主催:ファブシステム研究会 共催:ミニマルファブ技術研究組合


展示ブースの様子




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