世界最小径レベル! 直径15ミクロンの電子部品検査用コンタクトプローブを開発

2022 年 1 月 28 日
各 位


東京特殊電線株式会社
東京都港区西新橋三丁目8番3号
(東証1部 コード番号 5807)
問合せ先 経営企画部 広報担当
TEL 03(5860)2121


世界最小径レベル!

直径 15 ミクロンの電子部品検査用コンタクトプローブを開発

東京特殊電線株式会社(本社:東京都港区、社長:川口寛)は、電子部品の電気検査に使用されるコンタクト
プローブ(検査用接触針)としては世界最小径レベルとなる直径 15 ミクロン(0.015 ミリメートル)の製品を開発し
ました。

コンタクトプローブとは、電子部品の電極へ接触させて、電気的な検査を行うための接触針です。シリコンウ
ェハから IC を切り出す前後の検査や、半導体パッケージ基板などの検査に使用されています。電子部品の小
型化に伴い電極間隔も狭ピッチ化が進んでおり、このように微細化し集積度が増すウェハや半導体パッケージ
基板の検査には、より細いコンタクトプローブが要求されます。

コンタクトプローブの形状には、検査治具の構造によっていくつか種類がありますが、細く強い当社のワイヤ
ータイプは狭ピッチ電極の検査に向いています。当社独自の特殊な電線製造技術をコンタクトプローブ生産に
応用し、導体の真直加工から完成品までを一貫して生産することができ、顧客の要求に迅速に対応することが
可能です。直径 15 ミクロンの製造加工においては、端末の絶縁層を除去するレーザー剥離方式を改善し寸法
精度を向上させ、形状や寸法の検査を完全自動化したことにより品質の安定化を実現しています。また、2021
年 1 月に竣工した新工場へコンタクトプローブ生産ラインを移設することにより生産性は向上し、今後の増産対
応にも備えています。

今後も、当社独自の技術により得意とする 30 ミクロン以下の細径コンタクトプローブに注力し、集積度が高ま
り小型化する電子部品の検査需要に応えていきます。
15 ミクロン




電極接触部




絶縁層
50 ミクロン




【コンタクトプローブ 拡大写真】

当社製品ページへのリンク : https://www.totoku.co.jp/product/contactp/


本資料についてのお問合せ先 経営企画部 広報担当 TEL 03(5860)2121
お客様からの製品に関するお問合せ先 デバイス営業グループ TEL 03(5860)2129

以上

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