セミナー「半導体材料表面先端加工技術の紹介」の開催のお知らせ

NEWS RELEASE


2023 年 3 月 7 日
各 位
会 社 名 株式会社ジェイテックコーポレーション
代表者名 代 表 取 締 役 社 長 津 村 尚 史
(コード番号:3446 東証プライム)
問合せ先 取 締 役 管 理 部 長 日 谷 哲 也
(TEL. 072-655-2785)




プライベートセミナー「半導体材料表面先端加工技術の紹介」の
開催に関するお知らせ




当社は、3月 31 日(金)に「半導体材料表面先端加工技術の紹介」という題目でプライベートセ
ミナーを開催することが決まりましたので、下記のとおりお知らせいたします。


1.プライベートセミナー開催の目的
本セミナーは、弊社が実用化を推進中の各種半導体材料表面先端加工技術であります「触媒基準エ
ッチング法(以下、CARE)、
」「プラズマ援用研磨法(以下、PAP)、
」「プラズマ化学気相加工法(以
下、Plasma CVM)
」と、現在次世代加工技術として導入検討中の「新しい電気化学加工法」の4つの
先端加工技術について、ユーザー様の理解を深めることを目的に開催します。そこでは、各加工法の
研究開発の中心的存在である先生方を講師としてお招きし、半導体デバイスメーカー様、ウエハのサ
プライヤーメーカー様、半導体製造装置メーカー様、その他先端機能材料を取り扱うメーカー様など
のユーザー様向けに講演します。
また、CARE、PAP、Plasma CVM については、既に納品、受注の実績があり、現在さまざまな分野か
らの引合いもありますが、世の中に無い独自の加工技術であるため、本セミナーなどを通してより幅
広く認知してもらう活動を今後も積極的に展開してまいります。


なお、2022 年5月 30 日のプレスリリースにてお知らせしました長期成長戦略であります
「Innovation 2030」の達成に向けて取り組んでおり、本セミナーはその取り組み内容のひとつと位
置付けており、今後も積極的に継続して進めてまいります。
当社は、
「オンリーワンの技術により製品を作り出し、広く社会に貢献し、持続的に成長するグロ
ーバル企業」となるため全社一丸となって取り組んでまいります。



2.プライベートセミナーの内容
弊社ホームページ<https://www.j-tec.co.jp/category/news/>にてご確認ください。




3.各加工技術の概要
各加工技術の概要は下表のとおりです。


表:CARE,PAP,Plasma CVM の概要
加工技術 加工原理 加工対象物 製品例
CARE 触媒作用を活用した原 SiC,Ge2O3,GaN, パワー半導体※1
子単位の加工法 AlGaN,Al2O3,SiO2, SAW フィルター※2
Si,ニオブ酸リチウム
(LN),タンタル酸リチ
ウム(TN)
PAP 研磨面に対してプラズ 単結晶ダイヤモンド, ダイヤモンド基板※3
マによって活性化した SiC,GaN パワー半導体※1
酸素等を備える研磨法
Plasma CVM 反応性ガスのプラズマ SiO2,Si,SiC SOI ウエハ※4
による化学的反応によ パワー半導体※1
る加工法 水晶ウエハ※5


※1 パワー半導体とは、高効率な電力変換システムの構築に不可欠な素子です。例えば、太陽光発電や
風力発電から得られた直流電力を交流電力に変換する際に、パワートランジスタを使用したインバータ
ーが使用されます。また、自動車や鉄道などの交通機関においても、パワー半導体を使用した制御シス
テムが採用されています。


※2 SAW フィルターとは、電子回路内の不要な信号を取り除くことができるため、様々な電子機器で広
く使用されています。また、SAW フィルターは、小型化や省電力化が可能なため、モバイル機器や IoT 機
器などの分野でも需要が高まっています。スマートフォン、GPS 受信機、デジタルテレビ受信機に使用さ
れています。


※3 ダイヤモンド基板とは、人工的に合成されたダイヤモンドを基材とした電子部品の基板であり、高
い物理特性を持つことから、情報端末の計算処理や通信速度のさらなる高速化や、大電流の電力制御を
必要とする電車や自動車など幅広い分野での利用が期待されています。


※4 SOI ウエハとは、シリコンオンインシュレーター(Silicon On Insulator)ウエハの略称であり、
シリコン層とシリコン酸化物層(絶縁層)という二つの層があるウエハです。SOI ウエハは、低消費電力
化、高集積度、高速動作などの要件を満たすために開発された革新的な半導体ウエハであり、最近で
は、モバイル機器、IoT 機器、自動車、医療機器などの分野での利用が進んでいます。


※5 水晶ウエハとは、石英(SiO2)を主成分とする透明な結晶で作られたウエハであり、高い電気特性
を持っています。主に電気機器、光通信、センサー、時計などの分野で使用されます。




以 上




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