令和3年度「戦略的基盤技術高度化支援事業(サポイン事業)」の採択のお知らせ

NEWS RELEASE


2021 年6月 17 日
各 位
会 社 名 株式会社ジェイテックコーポレーション
代表者名 代 表 取 締 役 社 長 津 村 尚 史
(コード番号:3446 東証第一部)
問合せ先 取 締 役 管 理 部 長 平 井 靖 人
(TEL. 072-655-2785)



令和3年度「戦略的基盤技術高度化支援事業(サポイン事業)」の採択のお知らせ

当社は、中小企業庁(経済産業省)が公募した令和3年度「戦略的基盤技術高度化支援事業(サポ
イン事業)※1」に、国立大学法人大阪大学<以降、大阪大学と記載>、国立大学法人東海国立大学機
構名古屋大学<以降、名古屋大学と記載>、国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構<以降、JAXA と
記載>との共同研究として申請し採択されました(公募数 247 件、採択数 60 件)
。詳細については下
記の通りお知らせいたします。


1.採択事業について
研究開発課題名: X線測定 分析の高効率化に資する高精度2次元集光X線ミラーの製造法の開発

(令和3年度~令和5年度)
参画研究機関:  株式会社ジェイテックコーポレーション
 大阪大学 大学院工学研究科
 名古屋大学 大学院工学研究科
 JAXA 宇宙科学研究所

事業管理機関:一般財団法人大阪科学技術センター


当社は、大阪大学と国立研究開発法人理化学研究所との共同研究成果を基に実用化に成功した超精
密ナノ加工法「EEM※2」及びナノ形状計測法「MSI※3」と「RADSI※4」を用いた超高精度のX線ミラーを
世界各地の大型放射光施設向けに製造・販売し、国内外から高く評価されております。今後、更なる技
術競争優位性を確保するために、ユーザーからの要求が高い2次元集光X線ミラーは最も重要な製品
の1つです。
本サポイン事業では、この複雑な表面形状を有する2次元集光X線ミラーの製造法の効率化開発に
取り組みます。この開発課題の達成により、これまでの市場であった大型放射光施設はもとより、複雑
な表面形状のミラーを求めている半導体製造分野や宇宙科学分野への市場拡大を目指してまいります。
今後とも、当社オプティカル事業の持続的な成長に向けて邁進してまいります。


2.今後の見通し
本発表による 2021 年6月期の業績への影響は軽微であり、来期以降の見通しについて大きく影響
を与える場合は速やかに開示してまいります。
※1 本事業の詳細は中小企業庁ホームページをご覧ください。
< https://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/2021/210616mono.html >


※2 EEM(Elastic Emission Machining)
EEM とは、固体表面間の化学反応を利用した、全く新しい加工メカニズムに基づく超精密加工法で
す。加工物表面との反応性を持った微粒子を超純水の流れを利用して加工物表面に供給し、両表面
の原子間で起こる化学的な相互作用反応の結果、加工物表面の原子を微粒子が持ち去ることによっ
て加工が進みます。加工物表面の原子の配列を全く乱すことなく、原子サイズのオーダで平坦な表
面を作ることができる大きな特徴を有しています。


※3 MSI
MSI とは、マイケルソン型干渉計と当社独自に開発したステッチング用計測ステージで構成され、
干渉計の対物レンズに依存するものの約 10mm の視野角において高周波成分(粗さ成分)を正確に測
定することができます。


※4 RADSI
RADSI とは、フィゾー干渉計と当社独自に開発したステッチング用計測ステージで構成され、限界
はありますが曲率がついたミラーであっても形状測定する面を区切りながら少しずつ計測し、その
結果をつなぎ合わせること全面の形状計測を可能としています。




以 上

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